被媒体称为“光刻机第一股”的华卓精科，9月17日科创板上市委会议通过。公司为国内首家，也是世界唯二可自主研发并实现商业化生产的光刻机双工件台供应商，主营业务为光刻机双工件台、超精密测控装备整机以及关键部件等衍生产品的研发、生产以及销售和技术服务。

华卓精科长期专注于纳米级超精密测控技术，是国内领先的集成电路制造装备及其核心部件、精密/超精密运动系统及相关技术供应商，致力于在实现超精密机械与测控技术成果产业化的基础上成为中国乃至全球卓越的精密科技公司。

值得一提的是，联席主承销商中金公司是华卓精科的第八大股东，持股比例为3.06%。2019年3月，国家大基金一期子基金上海半导体装备材料基金出资4200万元参与了华卓精科的增资，现持有其2.08%的股权。

国盛证券7月发布的研报表示，光刻机市场一直以来在全球设备市场中的比重都较高，具有较高技术难度，并且单台设备价值量也较高，属于半导体制造设备的“皇冠”。